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阀封式机械泵(简称滑阀泵)和旋片泵一样,也是一种变排量输气泵,但与2X旋片真空泵相比,滑阀真空泵耐用数倍。其范围和使用条件与旋片泵基本相同。滑阀真空泵分为单级H型和双较2H型。比较老的是MH,1401系列,已经基本淘汰了。
由于滑阀泵的结构特点,其容量远大于旋片泵,因此常被用于大型真空设备中。滑阀有两种类型:单级和双级。单级泵极限压力小泵≤0.6Pa,大泵≤1.3Pa(均为闭式气镇),双级泵极限压力≤0.06Pa(闭式气镇)。2H双较滑阀真空泵的zui大抽速为300升/秒..
由于滑阀泵的旋转质量是偏心的,如果滑阀质量平衡不好,在工作时会产生很大的振动。而泵的旋转质心运动轨迹是一条形状复杂的闭合曲线,小工厂很难实现滑阀泵惯性力的完全平衡。滑阀的质量平衡可以通过动平衡试验和双缸或三缸结构来实现。